导电型碳化硅衬底材料多用于同质外延,制备功率半导体器件,在以电动汽车为代表的新能源以及光伏,风力发电领域广泛应用。
目前公司的6&8英寸产品稳定交付全球量产级客户,同时具备12英寸衬底产品的生产能力。
基本信息
6英寸
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直径 150.0mm+0mm/-0.2mm
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表面取向 4°偏向±0.5°
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主参考边长度 47.5 mm ±1.5 mm
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主参考面取向 <1120>士1.0°
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Notch取向 /
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Notch角度 /
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Notch深度 /
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副参考边 无
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厚度 350.0um士25.0um
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晶型 4H
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导电类型 n-type
